Real time ellipsometry for monitoring plasma-assisted epitaxial growth of GaN: Fid-Bau Portal

Real time ellipsometry for monitoring plasma-assisted epitaxial growth of GaN

Bruno, G. / Losurdo, M. / Giangregorio, M. M. / Capezzuto, P. / Brown, A. S. / Kim, T. H. / Choi, S.

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Titel:

Real time ellipsometry for monitoring plasma-assisted epitaxial growth of GaN

Beteiligte:

Bruno, G. (Autor:in) / Losurdo, M. (Autor:in) / Giangregorio, M. M. (Autor:in) / Capezzuto, P. (Autor:in) / Brown, A. S. (Autor:in) / Kim, T. H. (Autor:in) / Choi, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 219-223

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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