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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Thermal drift of piezoresistive properties of LPCVD polysilicon thin films between room temperature and 200C

    Beteiligte:

    Kleimann, P. (Autor:in) / Semmache, B. (Autor:in) / Le Berre, M. (Autor:in) / Barbier, D. (Autor:in) / Camassel, J. / Fricke, K. / Krozer, V. / Robert, J. L.

    Erschienen in:

    High Temperature Electronics: Materials, Devices and Applications ; 43-46

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 46

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1997

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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