Preparation of semiconductive SrTiO~3 thin films by metal-organic chemical vapor deposition and their electrical properties: Fid-Bau Portal

Preparation of semiconductive SrTiO~3 thin films by metal-organic chemical vapor deposition and their electrical properties

Nagano, D. / Funakubo, H. / Sakurai, O. / Shinozaki, K. / Mizutani, N.

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Titel:

Preparation of semiconductive SrTiO~3 thin films by metal-organic chemical vapor deposition and their electrical properties

Beteiligte:

Nagano, D. (Autor:in) / Funakubo, H. (Autor:in) / Sakurai, O. (Autor:in) / Shinozaki, K. (Autor:in) / Mizutani, N. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 12 ; 1655-1660

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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