Micro-etching technology of high aspect ratio frameworks for electronic devices: Fid-Bau Portal

Micro-etching technology of high aspect ratio frameworks for electronic devices

Cho, Y.-R. / Oh, J.-Y. / Kim, H.-S. / Jeong, H.-S.

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Titel:

Micro-etching technology of high aspect ratio frameworks for electronic devices

Beteiligte:

Cho, Y.-R. (Autor:in) / Oh, J.-Y. (Autor:in) / Kim, H.-S. (Autor:in) / Jeong, H.-S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 64 ; 79 - 83

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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