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Vapor Deposition of Low-Dielectric-Constant Polymeric Thin Films

Lu, T.-M. / Moore, J. A.

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Titel:

Vapor Deposition of Low-Dielectric-Constant Polymeric Thin Films

Beteiligte:

Lu, T.-M. (Autor:in) / Moore, J. A. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 22 ; 28-32

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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