Highly preferred crystalline carbon thin films obtained by DC magnetron sputtering with a hot filament: Fid-Bau Portal

Highly preferred crystalline carbon thin films obtained by DC magnetron sputtering with a hot filament

Kawai, Y. / Oo, M. T. / Nakao, M. / Kamimura, K. / Matsushima, H. / Onuma, Y.

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Titel:

Highly preferred crystalline carbon thin films obtained by DC magnetron sputtering with a hot filament

Beteiligte:

Kawai, Y. (Autor:in) / Oo, M. T. (Autor:in) / Nakao, M. (Autor:in) / Kamimura, K. (Autor:in) / Matsushima, H. (Autor:in) / Onuma, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 121/122 ; 156-159

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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