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Wear phenomena in chemical mechanical polishing

Liang, H. / Kaufman, F. / Sevilla, R. / Anjur, S.

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Titel:

Wear phenomena in chemical mechanical polishing

Beteiligte:

Liang, H. (Autor:in) / Kaufman, F. (Autor:in) / Sevilla, R. (Autor:in) / Anjur, S. (Autor:in)

Erschienen in:

WEAR -LAUSANNE- ; 211 ; 271-279

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0043-1648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11292

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