Modeling of Polishing Pad Wear in Chemical Mechanical Polishing: Fid-Bau Portal

Modeling of Polishing Pad Wear in Chemical Mechanical Polishing

Li, M. / Zhu, Y.W. / Li, J. / Lin, K.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Modeling of Polishing Pad Wear in Chemical Mechanical Polishing

Li, M. / Zhu, Y.W. / Li, J. / Lin, K.

Modeling of Polishing Pad Wear in Chemical Mechanical Polishing

Li, M. / Zhu, Y.W. / Li, J. / Lin, K.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Modeling of Polishing Pad Wear in Chemical Mechanical Polishing

Beteiligte:

Li, M. (Autor:in) / Zhu, Y.W. (Autor:in) / Li, J. (Autor:in) / Lin, K. (Autor:in) / Yao, Y. / Zuo, D. / Xu, X.

Erschienen in:

Machining and Advanced Manufacturing Technology X ; 318-321

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 431/432

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Liang, H. / Kaufman, F. / Sevilla, R. et al. | British Library Online Contents | 1997

Multiscale material removal modeling of chemical mechanical polishing

Seok, J. / Sukam, C. P. / Kim, A. T. et al. | British Library Online Contents | 2003

Chemically enhanced synergistic wear: A copper chemical mechanical polishing case study

Nolan, L. M. / Cadien, K. C. | British Library Online Contents | 2013

Characteristics in chemical-mechanical polishing of copper: comparison of polishing pads

Stavreva, Z. / Zeidler, D. / Ploetner, M. et al. | British Library Online Contents | 1997

Kinematic Analysis of Chemical Mechanical Polishing and its Effect on Polishing Results

Kim, H. / Jeong, H. / Lee, S. et al. | British Library Online Contents | 2003

Nach oben