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    Titel:

    Mechanism of Ge2Sb2Te5 chemical mechanical polishing

    Beteiligte:

    Wang, L. (Autor:in) / Song, Z. (Autor:in) / Zhong, M. (Autor:in) / Liu, W. (Autor:in) / Yan, W. (Autor:in) / Qin, F. (Autor:in) / He, A. (Autor:in) / Liu, B. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 258 ; 5185-5190

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2012

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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