Implantation of Al and B Acceptors into Alpha-SiC and pn Junction Diodes: Fid-Bau Portal

Implantation of Al and B Acceptors into Alpha-SiC and pn Junction Diodes

Takemura, O. / Kimoto, T. / Matsunami, H. / Nakata, T. / Watanabe, M. / Inoue, M.

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Titel:

Implantation of Al and B Acceptors into Alpha-SiC and pn Junction Diodes

Beteiligte:

Takemura, O. (Autor:in) / Kimoto, T. (Autor:in) / Matsunami, H. (Autor:in) / Nakata, T. (Autor:in) / Watanabe, M. (Autor:in) / Inoue, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 264/268 ; 701-704

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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