X-ray emission spectroscopic studies of silicon precipitation in surface layer of SiO~2 induced by argon excimer laser irradiation: Fid-Bau Portal

X-ray emission spectroscopic studies of silicon precipitation in surface layer of SiO~2 induced by argon excimer laser irradiation

Kurosawa, K. / Herman, P. R. / Kurmaev, E. Z. / Shamin, S. N. / Galakhov, V. R. / Takigawa, Y. / Yokotani, A. / Kameyama, A. / Sasaki, W.

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Titel:

X-ray emission spectroscopic studies of silicon precipitation in surface layer of SiO~2 induced by argon excimer laser irradiation

Beteiligte:

Kurosawa, K. (Autor:in) / Herman, P. R. (Autor:in) / Kurmaev, E. Z. (Autor:in) / Shamin, S. N. (Autor:in) / Galakhov, V. R. (Autor:in) / Takigawa, Y. (Autor:in) / Yokotani, A. (Autor:in) / Kameyama, A. (Autor:in) / Sasaki, W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 126 ; 83-91

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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