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Relating mechanical testing and microstructural features of polysilicon thin films

Jayaraman, S. / Edwards, R. L. / Hemker, K. J.

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Titel:

Relating mechanical testing and microstructural features of polysilicon thin films

Beteiligte:

Jayaraman, S. (Autor:in) / Edwards, R. L. (Autor:in) / Hemker, K. J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 14 ; 688-697

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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