Formation of pyramids at surface of TMAH etched silicon: Fid-Bau Portal

Formation of pyramids at surface of TMAH etched silicon

Choi, W.K. / Thong, J.T.L. / Luo, P. / Bai, Y. / Tan, C.M. / Chua, T.H.

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Titel:

Formation of pyramids at surface of TMAH etched silicon

Beteiligte:

Choi, W.K. (Autor:in) / Thong, J.T.L. (Autor:in) / Luo, P. (Autor:in) / Bai, Y. (Autor:in) / Tan, C.M. (Autor:in) / Chua, T.H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 144 ; 472-475

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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