Smoothness Control of Wet Etched Si {100} Surfaces in TMAH+Triton: Fid-Bau Portal

Smoothness Control of Wet Etched Si {100} Surfaces in TMAH+Triton

Tang, B. / Yao, M.Q. / Tan, G. / Pal, P. / Sato, K. / Su, W.

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Titel:

Smoothness Control of Wet Etched Si {100} Surfaces in TMAH+Triton

Beteiligte:

Tang, B. (Autor:in) / Yao, M.Q. (Autor:in) / Tan, G. (Autor:in) / Pal, P. (Autor:in) / Sato, K. (Autor:in) / Su, W. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610 ; 536-541

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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