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    Titel:

    Plasma-deposited amorphous silicon carbide films for micromachined fluidic channels

    Beteiligte:

    Wuu, D.-S. (Autor:in) / Horng, R.-H. (Autor:in) / Chan, C.-C. (Autor:in) / Lee, Y.-S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 144 ; 708-712

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1999

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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