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    Titel:

    Electrical Characteristics of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposited Silicon Carbide Thin Films

    Beteiligte:

    Pham, H. T. M. (Autor:in) / Akkaya, T. (Autor:in) / de Boer, C. R. (Autor:in) / Sarro, P. M. (Autor:in) / Bergman, P. / Janzen, E.

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials 2002 ; 451-454

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 433/436

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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