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    Titel:

    Characterization and production metrology of thin transistor gate oxide films

    Beteiligte:

    Diebold, A.C. (Autor:in) / Venables, D. (Autor:in) / Chabal, Y. (Autor:in) / Muller, D. (Autor:in) / Weldon, M. (Autor:in) / Garfunkel, E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 2 ; 103-147

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1999

    Format / Umfang:

    45 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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