Nitrogen impurity incorporation behavior in a chimney HTCVD process: pressure and temperature dependence: Fid-Bau Portal

Nitrogen impurity incorporation behavior in a chimney HTCVD process: pressure and temperature dependence

Zhang, J. / Ellison, A. / Henry, A. / Linnarsson, M.K. / Janzen, E.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Nitrogen impurity incorporation behavior in a chimney HTCVD process: pressure and temperature dependence

Zhang, J. / Ellison, A. / Henry, A. / Linnarsson, M.K. / Janzen, E.

Nitrogen impurity incorporation behavior in a chimney HTCVD process: pressure and temperature dependence

Zhang, J. / Ellison, A. / Henry, A. / Linnarsson, M.K. / Janzen, E.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Nitrogen impurity incorporation behavior in a chimney HTCVD process: pressure and temperature dependence

Beteiligte:

Zhang, J. (Autor:in) / Ellison, A. (Autor:in) / Henry, A. (Autor:in) / Linnarsson, M.K. (Autor:in) / Janzen, E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 61-62 ; 151 - 154

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Ellison, A. / Magnusson, B. / Son, N. T. et al. | British Library Online Contents | 2003

SiC Crystal Growth by HTCVD

Ellison, A. / Magnusson, B. / Sundqvist, B. et al. | British Library Online Contents | 2004

SiC HTCVD Simulation Modified by Sublimation Etching

Kitou, Y. / Makino, E. / Ikeda, K. et al. | British Library Online Contents | 2006

Observation of Vacancy Clusters in HTCVD Grown SiC

Aavikko, R. / Saarinen, K. / Magnusson, B. et al. | British Library Online Contents | 2005

Computational Analysis of SiC HTCVD from Silicon Tetrachloride and Propane

Makarov, Y.N. / Talalaev, R.A. / Vorob ev, A.N. et al. | British Library Online Contents | 2009

Nach oben