Zirconium nitrides deposited by dual ion beam sputtering: physical properties and growth modelling: Fid-Bau Portal

Zirconium nitrides deposited by dual ion beam sputtering: physical properties and growth modelling

Pichon, L. / Girardeau, T. / Straboni, A. / Lignou, F. / Guerin, P. / Perriere, J.

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Titel:

Zirconium nitrides deposited by dual ion beam sputtering: physical properties and growth modelling

Beteiligte:

Pichon, L. (Autor:in) / Girardeau, T. (Autor:in) / Straboni, A. (Autor:in) / Lignou, F. (Autor:in) / Guerin, P. (Autor:in) / Perriere, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 150 ; 115-124

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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