Efficiency of cavity gettering in single and in multicrystalline silicon wafers: Fid-Bau Portal

Efficiency of cavity gettering in single and in multicrystalline silicon wafers

Martinuzzi, S. / Henquinet, N.G. / Perichaud, I. / Mathieu, G. / Torregrossa, F.

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Titel:

Efficiency of cavity gettering in single and in multicrystalline silicon wafers

Beteiligte:

Martinuzzi, S. (Autor:in) / Henquinet, N.G. (Autor:in) / Perichaud, I. (Autor:in) / Mathieu, G. (Autor:in) / Torregrossa, F. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 71 ; 229 - 232

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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