Gettering in silicon-on-insulator wafers with polysilicon layer: Fid-Bau Portal

Gettering in silicon-on-insulator wafers with polysilicon layer

Savin, H. / Yli-Koski, M. / Haarahiltunen, A. / Virkkala, V. / Talvitie, H. / Asghar, M. I. / Sinkkonen, J. / Hintsala, J.

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Titel:

Gettering in silicon-on-insulator wafers with polysilicon layer

Beteiligte:

Savin, H. (Autor:in) / Yli-Koski, M. (Autor:in) / Haarahiltunen, A. (Autor:in) / Virkkala, V. (Autor:in) / Talvitie, H. (Autor:in) / Asghar, M. I. (Autor:in) / Sinkkonen, J. (Autor:in) / Hintsala, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 159-160 ; 259-263

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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