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Cluster ripening and transient enhanced diffusion in silicon

Cowern, N. E. / Mannino, G. / Stolk, P. A. / Roozeboom, F. / Huizing, H. G. / van Berkum, J. G. / Cristiano, F. / Claverie, A. / Jaraiz, M.

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Titel:

Cluster ripening and transient enhanced diffusion in silicon

Beteiligte:

Cowern, N. E. (Autor:in) / Mannino, G. (Autor:in) / Stolk, P. A. (Autor:in) / Roozeboom, F. (Autor:in) / Huizing, H. G. (Autor:in) / van Berkum, J. G. (Autor:in) / Cristiano, F. (Autor:in) / Claverie, A. (Autor:in) / Jaraiz, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 2 ; 369-376

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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