Segregation of phosphorus to SiO2/Si(001) interfaces: Fid-Bau Portal

Segregation of phosphorus to SiO2/Si(001) interfaces

Dabrowski, J. / Mussig, H. J. / Baierle, R. / Caldas, M. J. / Zavodinsky, V.

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Titel:

Segregation of phosphorus to SiO2/Si(001) interfaces

Beteiligte:

Dabrowski, J. (Autor:in) / Mussig, H. J. (Autor:in) / Baierle, R. (Autor:in) / Caldas, M. J. (Autor:in) / Zavodinsky, V. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 3 ; 85-89

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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