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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Bulk Micromachining of Polycrystalline SiC Using Si Molds Fabricated by Deep Reactive Ion Etching

    Beteiligte:

    Rajan, N. (Autor:in) / Zorman, C. A. (Autor:in) / Mehregany, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 1145-1148

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2000

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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