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    Titel:

    Etchant wettability in bulk micromachining of Si by metal-assisted chemical etching

    Beteiligte:

    Yoon, S. S. (Autor:in) / Lee, Y. B. (Autor:in) / Khang, D. Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 370 ; 117-125

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    9 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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