Formation of Deep pn Junctions by MeV Al- and B-Ion Implantations into 4H-SiC and Reverse Characteristics: Fid-Bau Portal

Formation of Deep pn Junctions by MeV Al- and B-Ion Implantations into 4H-SiC and Reverse Characteristics

Miyamoto, N. / Saitoh, A. / Kimoto, T. / Matsunami, H. / Hishida, Y. / Watanabe, M.

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Titel:

Formation of Deep pn Junctions by MeV Al- and B-Ion Implantations into 4H-SiC and Reverse Characteristics

Beteiligte:

Miyamoto, N. (Autor:in) / Saitoh, A. (Autor:in) / Kimoto, T. (Autor:in) / Matsunami, H. (Autor:in) / Hishida, Y. (Autor:in) / Watanabe, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 1347-1350

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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