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Characterization of low dielectric constant amorphous carbon nitride films

Aono, M. / Nitta, S. / Katsuno, T. / Itoh, T. / Nonomura, S.

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Titel:

Characterization of low dielectric constant amorphous carbon nitride films

Beteiligte:

Aono, M. (Autor:in) / Nitta, S. (Autor:in) / Katsuno, T. (Autor:in) / Itoh, T. (Autor:in) / Nonomura, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 159-160 ; 341-344

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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