Surface morphology and structural observation of laser interference crystallized a-Si:H/a-SiNx:H multilayers: Fid-Bau Portal

Surface morphology and structural observation of laser interference crystallized a-Si:H/a-SiNx:H multilayers

Wang, L. / Li, J. / Huang, X. / Li, Q. / Yin, X. / Fan, W. / Xu, J. / Li, W. / Li, Z. / Zhu, J.

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Titel:

Surface morphology and structural observation of laser interference crystallized a-Si:H/a-SiNx:H multilayers

Beteiligte:

Wang, L. (Autor:in) / Li, J. (Autor:in) / Huang, X. (Autor:in) / Li, Q. (Autor:in) / Yin, X. (Autor:in) / Fan, W. (Autor:in) / Xu, J. (Autor:in) / Li, W. (Autor:in) / Li, Z. (Autor:in) / Zhu, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 165 ; 85-90

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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