Combinatorial Generation and Analysis of Nanometer- and Micrometer-Scale Silicon Features via "Dip-Pen" Nanolithography and Wet Chemical Etching: Fid-Bau Portal

Combinatorial Generation and Analysis of Nanometer- and Micrometer-Scale Silicon Features via "Dip-Pen" Nanolithography and Wet Chemical Etching

Weinberger, D. A. / Hong, S. / Mirkin, C. A. / Wessels, B. W. / Higgins, T. B.

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Titel:

Combinatorial Generation and Analysis of Nanometer- and Micrometer-Scale Silicon Features via "Dip-Pen" Nanolithography and Wet Chemical Etching

Beteiligte:

Weinberger, D. A. (Autor:in) / Hong, S. (Autor:in) / Mirkin, C. A. (Autor:in) / Wessels, B. W. (Autor:in) / Higgins, T. B. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 12 ; 1600-1603

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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