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Planar oxidation of strained silicon substrates

Lin, M.-T. / Jaccodine, R. J. / Delph, T. J.

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Titel:

Planar oxidation of strained silicon substrates

Beteiligte:

Lin, M.-T. (Autor:in) / Jaccodine, R. J. (Autor:in) / Delph, T. J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 16 ; 728-733

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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