Thermal Oxidation of Silicon Carbide Substrates: Fid-Bau Portal

Thermal Oxidation of Silicon Carbide Substrates

Chen, X. / Ning, L. / Wang, Y. / Li, J. / Xu, X. / Hu, X. / Jiang, M.

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Titel:

Thermal Oxidation of Silicon Carbide Substrates

Beteiligte:

Chen, X. (Autor:in) / Ning, L. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in) / Li, J. (Autor:in) / Xu, X. (Autor:in) / Hu, X. (Autor:in) / Jiang, M. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -SHENYANG- ; 25 ; 115-118

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1005-0302

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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