Statistical analysis of shallow p-n junction leakage increase using XTEM results probabilities: Fid-Bau Portal

Statistical analysis of shallow p-n junction leakage increase using XTEM results probabilities

Czerwinski, A. / Katcki, J. / Poyai, A. / Simoen, E. / Claeys, C. / Ratajczak, J. / Gaubas, E.

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Titel:

Statistical analysis of shallow p-n junction leakage increase using XTEM results probabilities

Beteiligte:

Czerwinski, A. (Autor:in) / Katcki, J. (Autor:in) / Poyai, A. (Autor:in) / Simoen, E. (Autor:in) / Claeys, C. (Autor:in) / Ratajczak, J. (Autor:in) / Gaubas, E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 4 ; 105-107

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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