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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Shallow trench isolation dimensions effects on leakage current and doping concentration of advanced p-n junction diodes

    Beteiligte:

    Poyai, A. (Autor:in) / Rittaporn, I. (Autor:in) / Simoen, E. (Autor:in) / Claeys, C. (Autor:in) / Rooyackers, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 372-375

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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