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Ion implantation into GaN

Kucheyev, S. O. / Williams, J. S. / Pearton, S. J.

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Titel:

Ion implantation into GaN

Beteiligte:

Kucheyev, S. O. (Autor:in) / Williams, J. S. (Autor:in) / Pearton, S. J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- R REPORTS- ; 33 ; 51-108

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

58 pages

ISSN:

0927-796X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 530

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