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Thermal processing induced plastic deformation in GaAs wafers

Mock, P. / Laczik, Z. J. / Booker, G. R.

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Titel:

Thermal processing induced plastic deformation in GaAs wafers

Beteiligte:

Mock, P. (Autor:in) / Laczik, Z. J. (Autor:in) / Booker, G. R. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 80 ; 91 - 94

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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