In situ reflectance monitoring in MOVPE of a multiwafer reactor: Fid-Bau Portal

In situ reflectance monitoring in MOVPE of a multiwafer reactor

Weeks, K. J. / Irvine, S. J. / Stafford, A. / Jones, S. / Bland, S. / Joel, A.

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Titel:

In situ reflectance monitoring in MOVPE of a multiwafer reactor

Beteiligte:

Weeks, K. J. (Autor:in) / Irvine, S. J. (Autor:in) / Stafford, A. (Autor:in) / Jones, S. (Autor:in) / Bland, S. (Autor:in) / Joel, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 80 ; 46 - 49

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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