Comparative surface studies on wet and dry sacrificial thermal oxidation on silicon carbide: Fid-Bau Portal

Comparative surface studies on wet and dry sacrificial thermal oxidation on silicon carbide

Koh, A. / Kestle, A. / Wright, C. / Wilks, S. P. / Mawby, P. A. / Bowen, W. R.

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Titel:

Comparative surface studies on wet and dry sacrificial thermal oxidation on silicon carbide

Beteiligte:

Koh, A. (Autor:in) / Kestle, A. (Autor:in) / Wright, C. (Autor:in) / Wilks, S. P. (Autor:in) / Mawby, P. A. (Autor:in) / Bowen, W. R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 174 ; 210-216

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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