Ellipsometric Study of Thermal Silicon Oxide and Sacrificial Silicon Oxide on 4H-SiC: Fid-Bau Portal

Ellipsometric Study of Thermal Silicon Oxide and Sacrificial Silicon Oxide on 4H-SiC

Chen, L. / Guy, O. J. / Pope, G. / Teng, K. S. / Maffeis, T. / Wilks, S. P. / Mawby, P. A. / Jenkins, T. / Brieva, A. / Hayton, D. J.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Ellipsometric Study of Thermal Silicon Oxide and Sacrificial Silicon Oxide on 4H-SiC

Chen, L. / Guy, O. J. / Pope, G. / Teng, K. S. / Maffeis, T. / Wilks, S. P. / Mawby, P. A. / Jenkins, T. / Brieva, A. / Hayton, D. J.

Ellipsometric Study of Thermal Silicon Oxide and Sacrificial Silicon Oxide on 4H-SiC

Chen, L. / Guy, O. J. / Pope, G. / Teng, K. S. / Maffeis, T. / Wilks, S. P. / Mawby, P. A. / Jenkins, T. / Brieva, A. / Hayton, D. J.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Ellipsometric Study of Thermal Silicon Oxide and Sacrificial Silicon Oxide on 4H-SiC

Beteiligte:

Chen, L. (Autor:in) / Guy, O. J. (Autor:in) / Pope, G. (Autor:in) / Teng, K. S. (Autor:in) / Maffeis, T. (Autor:in) / Wilks, S. P. (Autor:in) / Mawby, P. A. (Autor:in) / Jenkins, T. (Autor:in) / Brieva, A. (Autor:in) / Hayton, D. J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 1337-1340

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Guy, O. J. / Chen, L. / Pope, G. et al. | British Library Online Contents | 2006

Ellipsometric study of thermal and laser annealed amorphous and microcrystalline silicon films

Jayatissa, A. H. / Suzuki, M. / Nakanishi, Y. et al. | British Library Online Contents | 1996

Ellipsometric characterization of nanocrystals in porous silicon

Petrik, P. / Fried, M. / Vazsonyi, E. et al. | British Library Online Contents | 2006

Ellipsometric characterization of oxidized porous silicon layer structures

Lohner, T. / Fried, M. / Petrik, P. et al. | British Library Online Contents | 2000

Controlled Thermal Oxidation of Sacrificial Silicon on 4H-SiC Epilayer

Koh, A. / Kestle, A. / Dunstan, P. R. et al. | British Library Online Contents | 2000

Nach oben