Anisotropic wet chemical etching of crystalline silicon: atomistic Monte-Carlo simulations and experiments: Fid-Bau Portal

Anisotropic wet chemical etching of crystalline silicon: atomistic Monte-Carlo simulations and experiments

Gosalvez, M. A. / Nieminen, R. M. / Kilpinen, P. / Haimi, E. / Lindroos, V.

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Titel:

Anisotropic wet chemical etching of crystalline silicon: atomistic Monte-Carlo simulations and experiments

Beteiligte:

Gosalvez, M. A. (Autor:in) / Nieminen, R. M. (Autor:in) / Kilpinen, P. (Autor:in) / Haimi, E. (Autor:in) / Lindroos, V. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 178 ; 7-26

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

20 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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