Low-temperature, direct synthesis of b-SiC by metal vapor vacuum arc ion source implantation: Fid-Bau Portal

Low-temperature, direct synthesis of b-SiC by metal vapor vacuum arc ion source implantation

Liu, Z. Q. / Liu, J. F. / Feng, J. Y. / Li, W. Z.

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Titel:

Low-temperature, direct synthesis of b-SiC by metal vapor vacuum arc ion source implantation

Beteiligte:

Liu, Z. Q. (Autor:in) / Liu, J. F. (Autor:in) / Feng, J. Y. (Autor:in) / Li, W. Z. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 50 ; 275-278

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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