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Observations of structural order in ion-implanted amorphous silicon

Cheng, J.-Y. / Gibson, J. M. / Jacobson, D. C.

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Titel:

Observations of structural order in ion-implanted amorphous silicon

Beteiligte:

Cheng, J.-Y. (Autor:in) / Gibson, J. M. (Autor:in) / Jacobson, D. C. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 16 ; 3030-3033

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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