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Mechanical properties of ion-implanted amorphous silicon

Follstaedt, D. M. / Knapp, J. A. / Myers, S. M.

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Titel:

Mechanical properties of ion-implanted amorphous silicon

Beteiligte:

Follstaedt, D. M. (Autor:in) / Knapp, J. A. (Autor:in) / Myers, S. M. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 19 ; 338-346

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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