Oxide formation during etching of gallium arsenide: Fid-Bau Portal

Oxide formation during etching of gallium arsenide

Ghidaoui, D. / Lyon, S. B. / Thompson, G. E. / Walton, J.

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Titel:

Oxide formation during etching of gallium arsenide

Beteiligte:

Ghidaoui, D. (Autor:in) / Lyon, S. B. (Autor:in) / Thompson, G. E. (Autor:in) / Walton, J. (Autor:in)

Erschienen in:

CORROSION SCIENCE ; 44 ; 501-509

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0010-938X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.16205 / 620

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