Thin SiGe buffers with high Ge content for n-MOSFETs: Fid-Bau Portal

Thin SiGe buffers with high Ge content for n-MOSFETs

Lyutovich, K. / Bauer, M. / Kasper, E. / Herzog, H. J. / Perova, T. / Maurice, R. / Hofer, C. / Teichert, C.

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Titel:

Thin SiGe buffers with high Ge content for n-MOSFETs

Beteiligte:

Lyutovich, K. (Autor:in) / Bauer, M. (Autor:in) / Kasper, E. (Autor:in) / Herzog, H. J. (Autor:in) / Perova, T. (Autor:in) / Maurice, R. (Autor:in) / Hofer, C. (Autor:in) / Teichert, C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 89 ; 341 - 345

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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