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Rapid photo-oxidation of silicon at room temperature using 126 nm vacuum ultraviolet radiation

Zhang, J. Y. / Boyd, I. W.

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Titel:

Rapid photo-oxidation of silicon at room temperature using 126 nm vacuum ultraviolet radiation

Beteiligte:

Zhang, J. Y. (Autor:in) / Boyd, I. W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 186 ; 64-68

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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