Applications and processing of SiGe and SiGe:C for high-speed HBT devices: Fid-Bau Portal

Applications and processing of SiGe and SiGe:C for high-speed HBT devices

Meyer, D. J. / Webb, D. A. / Ward, M. G. / Sellar, J. D. / Zeng, P. Y. / Robinson, J.

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Titel:

Applications and processing of SiGe and SiGe:C for high-speed HBT devices

Beteiligte:

Meyer, D. J. (Autor:in) / Webb, D. A. (Autor:in) / Ward, M. G. (Autor:in) / Sellar, J. D. (Autor:in) / Zeng, P. Y. (Autor:in) / Robinson, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 4 ; 529-533

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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