A Comparative Study of High-Temperature Aluminum Post-Implantation Annealing in 6H- and 4H-SiC, Non-Uniform Temperature Effects: Fid-Bau Portal

A Comparative Study of High-Temperature Aluminum Post-Implantation Annealing in 6H- and 4H-SiC, Non-Uniform Temperature Effects

Lazar, M. / Raynaud, C. / Planson, D. / Locatelli, M.-L. / Isoird, K. / Ottaviani, L. / Chante, J. P. / Nipoti, R. / Poggi, A. / Cardinali, G.

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Titel:

A Comparative Study of High-Temperature Aluminum Post-Implantation Annealing in 6H- and 4H-SiC, Non-Uniform Temperature Effects

Beteiligte:

Lazar, M. (Autor:in) / Raynaud, C. (Autor:in) / Planson, D. (Autor:in) / Locatelli, M.-L. (Autor:in) / Isoird, K. (Autor:in) / Ottaviani, L. (Autor:in) / Chante, J. P. (Autor:in) / Nipoti, R. (Autor:in) / Poggi, A. (Autor:in) / Cardinali, G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 389/393 ; 827-830

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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