Influence of Rapid Thermal Annealing on Ni/6H-SiC Contact Formation: Fid-Bau Portal

Influence of Rapid Thermal Annealing on Ni/6H-SiC Contact Formation

Agueev, O. A. / Svetlichnyi, A. M. / Razgonov, R. N.

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Titel:

Influence of Rapid Thermal Annealing on Ni/6H-SiC Contact Formation

Beteiligte:

Agueev, O. A. (Autor:in) / Svetlichnyi, A. M. (Autor:in) / Razgonov, R. N. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 389/393 ; 901-904

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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