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Scanning electric field sensing for semiconductor dopant profiling

Crosser, M. S. / Tessmer, S. H. / Ghosh, R. N.

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Titel:

Scanning electric field sensing for semiconductor dopant profiling

Beteiligte:

Crosser, M. S. (Autor:in) / Tessmer, S. H. (Autor:in) / Ghosh, R. N. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 195 ; 146-154

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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