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    Titel:

    Growth of electromigration-induced hillocks in Al interconnects

    Beteiligte:

    Nucci, J. A. (Autor:in) / Straub, A. (Autor:in) / Bischoff, E. (Autor:in) / Arzt, E. (Autor:in) / Volkert, C. A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 17 ; 2727-2735

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    9 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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